หลักการทำงานของเครื่องฆ่าเชื้อพลาสมาอุณหภูมิต่ำนั้นส่วนใหญ่โดยการฉีดไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์ที่มีความเข้มข้นสูงเข้าไปในห้องฆ่าเชื้อ โดยใช้พลาสมาที่ปล่อยออกมาจากการแพร่กระจายของก๊าซไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์และขั้นตอนพลาสมาอื่น ๆ ที่ทำปฏิกิริยากับเซลล์ เอนไซม์ และกรดนิวคลีอิกของจุลินทรีย์ ทำลายพลังและบรรลุวัตถุประสงค์ของการฆ่าเชื้อ เครื่องฆ่าเชื้อนี้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการฆ่าเชื้ออุปกรณ์ทางการแพทย์ที่เป็นโลหะและอโลหะที่ไวต่อความร้อนและความชื้น เช่น เครื่องมือที่มีความแม่นยำและรายการส่องกล้อง รวมถึงเครื่องมือที่มีชิ้นส่วนที่ยาก พารามิเตอร์ที่สำคัญได้แก่ อุณหภูมิ เวลา และความเข้มข้น เพื่อให้แน่ใจว่ามีการฆ่าเชื้อและปกป้องอุปกรณ์จากความเสียหาย

เครื่องฆ่าเชื้อพลาสมาอุณหภูมิต่ำถูกนำมาใช้ในการใช้งานที่หลากหลาย โดยเฉพาะสินค้าที่ไม่ทนความร้อนสูงและความชื้นไม่สูง เหมาะสำหรับการฆ่าเชื้อเครื่องมือส่องกล้องในเวชศาสตร์การกีฬา นรีเวชวิทยา ศัลยกรรม โสตศอนาสิกวิทยา จักษุวิทยา ระบบทางเดินปัสสาวะ และสาขาอื่น ๆ เช่น arthroscopy, laparoscope, กล้องเอนโดสโคปไซนัส, รีเซคสโคป, ท่อไต, สายไฟฟ้าแข็งตัวของเลือด, สว่านไฟฟ้า, เลื่อยไฟฟ้า และรายการอื่น ๆ วิธีการฆ่าเชื้อนี้ไม่เพียงเหมาะสำหรับผลิตภัณฑ์ที่เป็นโลหะเท่านั้น แต่ยังเหมาะสำหรับผลิตภัณฑ์ที่ไม่ใช่โลหะด้วย ซึ่งตอบสนองความต้องการในการฆ่าเชื้อของอุปกรณ์ต่างๆ ในวงการแพทย์

นอกจากนี้ เครื่องฆ่าเชื้อด้วยพลาสมาอุณหภูมิต่ำยังบรรลุวัตถุประสงค์ของการฆ่าเชื้อโดยการยับยั้งจุลินทรีย์หลากหลายชนิดบนอุปกรณ์ทางการแพทย์และเครื่องมือผ่าตัดในลักษณะเฉพาะระหว่างการผ่าตัด กระบวนการนี้ดำเนินการในสภาพแวดล้อมที่ค่อนข้างแห้งและมีอุณหภูมิต่ำ ไม่ทำลายอุปกรณ์ที่ไวต่อความร้อนหรือความชื้น และเหมาะสำหรับอุปกรณ์ที่เป็นโลหะและอโลหะที่ไม่ทำปฏิกิริยากับไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์ ด้วยเหตุนี้ จึงเป็นวิธีการฆ่าเชื้อที่ปลอดภัยและรวดเร็ว โดยเฉพาะสำหรับอุปกรณ์ทางการแพทย์ที่ไวต่ออุณหภูมิและความชื้น